Электронная библиотека

ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА






Добро пожаловать на сайт электронной библиотеки!
Здесь можно найти произведения русских и зарубежных авторов.
Скачать множество книг и журналов различных жанров и направлений.
Большой выбор художественной, бизнес, учебной и технической литературы.
Все представленные здесь книги и журналы имеют подробное описание и обложку.
Наша библиотека регулярно пополняется только новыми и интересными материалами!

«Подробнее о сайте»            «Правила сайта»            «Написать нам»            «Статьи»

Микролитография

Технические >> Справочники/Руководства





Разместил: Palladin

25-05-2012, 07:58

Просмотров: 519





Микролитография

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.

Название: Микролитография
Автор: Моро У.
Издательство: Мир
Год: 1990
Страниц: 1237
Формат: pdf
Размер: 85 Мб
Язык: русский
Качество: хорошее


Скачать книгу Микролитография









Похожие публикации

Гребен А. Б. - Проектирование аналоговых интегральных схем Гребен А. Б. - Проектирование аналоговых интегральных схем
Книга посвящена проектированию с учетом технологии производства аналоговых интегральных схем в монолитной форме. Рассматриваются основные технологические процессы производства интегральных схем, физические структуры, преимущества и недостатки

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 4. Механическая и химическая обработка Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 4. Механическая и химическая обработка
В книге освещены технологические процессы механической и химической обработки полупроводниковых пластин: резка, шлифовка, полировка, скайбирование, разламывание, химическая очистка и травление.

Рябцев Н. Г. - Материалы квантовой электроники Рябцев Н. Г. - Материалы квантовой электроники
Книга представляет собой учебное пособие для факультетов высших учебных заведений, готовящих специалистов по технологии специальных материалов электронной техники. Она является первой попыткой систематизированного изложения свойств, технологии и

Ионно-плазменная обработка материалов Ионно-плазменная обработка материалов
Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных

Рост монокристаллов Рост монокристаллов
В книге рассматриваются основы теории роста кристаллов и важнейшие методы выращивания монокристаллов, применяемых в науке и технике, в частности в полупроводниковой электронике и лазерной технике. Книга рассчитана на специалистов по выращиванию

Алгебраические методы в статистической механике и квантовой теории поля Алгебраические методы в статистической механике и квантовой теории поля
Книга представляет собой первую в мировой литературе монографию по основаниям физики, посвященную применению алгебраических методов чистой математики при построении новейших теорий современной физики. Книга рассчитана на физиков-теоретиков — научных

Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических

Интерполяция. Методы и компьютерные технологии их реализации Интерполяция. Методы и компьютерные технологии их реализации
Книга содержит основы теории интерполяции: приведена классификация методов, рассматриваются точные и приближенные, однопараметрические и многопараметрические методы.

Шадричев В.А. - Основы технологии автостроения и ремонт автомобилей Шадричев В.А. - Основы технологии автостроения и ремонт автомобилей
Описание: В книге изложены основные вопросы технологии автостроения и ремонта автомобилей и методы проектирования авторемонтных предприятий. Сжато освещаются вопросы точности механической обработки, качества поверхности, припуски на обработку и

Основные процессы и аппараты химической технологии. Книга 1 Основные процессы и аппараты химической технологии. Книга 1
В книге рассмотрены элементы технической гидравлики; перемещение жидкостей; сжатие и разрежение газов; перемешивание; разделение неоднородных смесей; основы теорий теплопередачи и массообмена; теплообменные аппараты; процессы выпаривания, абсорбции,




Отзывы и Комментарии





Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail:(необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent

Книги




Союз образовательных сайтов