Электронная библиотека

ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА






Добро пожаловать на сайт электронной библиотеки!
Здесь можно найти произведения русских и зарубежных авторов.
Скачать множество книг и журналов различных жанров и направлений.
Большой выбор художественной, бизнес, учебной и технической литературы.
Все представленные здесь книги и журналы имеют подробное описание и обложку.
Наша библиотека регулярно пополняется только новыми и интересными материалами!

«Подробнее о сайте»            «Правила сайта»            «Написать нам»            «Статьи»

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Технические >> Электроника





Разместил: ra0lhs

8-01-2014, 09:18

Просмотров: 317





Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов


Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электроннолучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов н интегральных схем.

Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Авторы: Брюэр Дж. Р., Гринич Д. С., Херриот Д. Р., Хендерсон Р. К. и др.
Издательство: Радио и связь
Год издания: 1984
Формат: djvu
Размер: 4.31 Mб
Страниц: 336










Похожие публикации

Справочник по электро- и электронно-измерительным приборам Справочник по электро- и электронно-измерительным приборам
Справочник по электро- и электронно-измерительным приборам - В настоящем издании Справочника описано 760 типов электроизмерительных и 381 тип электронно-измерительных приборов, серийно изготовляемых по состоянию на 1970 год. Учитывая многочисленные

Измерение параметров электронных приборов дециметрового и сантиметрового диапазонов волн Измерение параметров электронных приборов дециметрового и сантиметрового диапазонов волн
Рассмотрены основные параметры и характеристики, методы и средства измерения, испытания и контроля параметров СВЧ приборов. Основное внимание уделено вопросам измерения частоты, фазы, спектра, мощности, добротности, 6-параметров (временной и

Основы электроники и микроэлектроники Основы электроники и микроэлектроники
В учебнике рассматриваются электронные процессы при прохождении электрического тока в полупроводниках, вакууме, разреженном газе. Излагаются характеристики, параметры и принципы действия полупроводниковых, электровакуумных, газоразрядных,

Полупроводниковые диоды. Параметры, методы измерений Полупроводниковые диоды. Параметры, методы измерений
Приводятся сведения о важнейших свойствах полупроводниковых диодов различных классов. Кратко описаны принцип действия, конструкция, технология изготовления диодов. Приведены система электрических параметров диодов и методы их измерения. Особое

Полевые транзисторы на арсениде галлия. Принципы работы и технология изготовлени Полевые транзисторы на арсениде галлия. Принципы работы и технология изготовлени
Книга ведущих специалистов из многих стран охватывает широкий круг вопросов, отражающих современное состояние проектирования и технологии изготовления полевых транзисторов на арсениде галлия, а также интегральных схем на их основе. Для

Электронно-лучевая плавка тугоплавких и высокореакционных металлов Электронно-лучевая плавка тугоплавких и высокореакционных металлов
В монографии рассмотрены особенности металлургического производства слитков ниобия, тантала, циркония, титана и урана методом электронно-лучевой плавки. Подробно исследованы механизмы и закономерности поведении примесей, неметаллических включений и

Электронные приборы Электронные приборы
Рассматриваются устройство, физические процессы, характеристики, параметры, система обозначений и простейшие схемы применения полупроводниковых приборов, электронно управляемых ламп, электронно-лучевых трубок.

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным

Твердотельная электроника Твердотельная электроника
Автор: В. А. Гуртов Название: Твердотельная электроника Издательство: Техносфера Год: 2008 Страниц: 478 ISBN: 978-5-94836-187-1 Формат: pdf Размер: 15.4 Мб Язык: русский Качество: хорошее Рассматриваются основные типы полупроводниковых приборов и

Пароль Н.В., Бернштейн А.С. - Осциллографические электронно-лучевые трубки Пароль Н.В., Бернштейн А.С. - Осциллографические электронно-лучевые трубки
Описание: Описаны принципы работы осциллографических электронно-лучевых трубок, особенности их конструкций, изложены вопросы надежности их работы. Приведены справочные данные осциллографических электронно-лучевых трубок, параметры, габаритные данные.




Отзывы и Комментарии





Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail:(необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent

Книги




Союз образовательных сайтов