Электронная библиотека

ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА






Добро пожаловать на сайт электронной библиотеки!
Здесь можно найти произведения русских и зарубежных авторов.
Скачать множество книг и журналов различных жанров и направлений.
Большой выбор художественной, бизнес, учебной и технической литературы.
Все представленные здесь книги и журналы имеют подробное описание и обложку.
Наша библиотека регулярно пополняется только новыми и интересными материалами!

«Подробнее о сайте»            «Правила сайта»            «Написать нам»            «Статьи»

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Физика >> Естественные науки





Разместил: lara17

12-12-2012, 09:33

Просмотров: 590





Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Название: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Автор: Данилин Б.С.
Издательство: Энергоатомиздат
Год издания: 1989
Формат: DjVu
Язык: русский
Cтраниц: 327
Размер: 5 МБ


Описание: Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным методами, а также стимулированное плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.










Похожие публикации

Сравнение пленок для парников и теплиц (2012) Сравнение пленок для парников и теплиц (2012)
В ролике показано сравнение нескольких видов пленок для теплиц по гидрофильности (скатываемость капель воды), прочности и светопропускаемости.

Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные

Получение и исследование импульсных плазменных потоков Получение и исследование импульсных плазменных потоков
Монография посвящена одному из важных вопросов физики низкотемпературной плазмы. Она содержит изложение способов получения и исследования импульсных плазменных потоков. В ней дается описание различных типов импульсных систем, применяемых для

Химические реакции в турбулентных потоках газа и плазмы Химические реакции в турбулентных потоках газа и плазмы
В книге рассмотрены результаты экспериментальных исследований и математического моделирования химических реакций в турбулентных потоках газа и низкотемпературной плазмы. Изложены результаты новейших исследований советских и зарубежных авторов.

Физика и техника низкотемпературной плазмы Физика и техника низкотемпературной плазмы
Книга посвящена исследованию низкотемпературной плазмы, генерируемой высокочастотных индукционных и дуговых плазмотронах. Подробно освещены физические и транспортные свойства низкотемпературной плазмы, вопросы её термодинамики. С исчерпывающей

Низкотемпературная плазма в металлургии Низкотемпературная плазма в металлургии
Рассмотрено современное состояние техники получения низкотемпературной плазмы и плазменных струй, даны основные характеристики плазмотронов, рассмотрены возможности их применения для проведения различных технологических процессов - восстановления

Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей
Рассмотрены физические принципы получения, фокусировки и транспортировки многоамперных ионных и атомных пучков. Описаны современные плазменные источники ионов водорода, дейтерия, инертных газов, тугоплавких элементов. Показаны достижения и

Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Элементарные процессы в низкотемпературной плазме Элементарные процессы в низкотемпературной плазме
В пособии излагаются основы теории взаимодействия частиц и кинетики столкновительно-излучательных процессов в низкотемпературной плазме учетом ионизации и диссоциации молекулярных газов. Рассмотрены различные виды распределений частиц по свободным и

Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических




Отзывы и Комментарии





Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail:(необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent

Книги




Союз образовательных сайтов